广立微获得发明专利授权:“一种识别光刻缺陷热点图形的方法及图形结构”?热点官网
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示广立微(301095)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种识别光刻缺陷热点图形的方法及图形结构”,专利申请号为CN1.2,授权日为2025年6月13日。
专利摘要:本发明提供了识别光刻缺陷热点图形的方法,包括:确定版图的待识别层;预设宽度范围,识别初始边;预设RightSpace范围和LeftSpace范围,识别Edge_out;将所述plg_out中,满足一侧边为Fit_width_e_LSW且另一侧边为Fit_width_e_RSW的多边形区域识别为plg_out_plus,即目标图形。本发明的方法能快捷准确的识别出光刻缺陷图形,利于改进生产工艺,步骤简洁。本发明还提供了一种光刻缺陷热点图形结构,能快速辨别图形是否有引起光刻缺陷风险。
今年以来广立微新获得专利授权38个,较去年同期增加了58.33%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.77亿元,同比增33.49%。
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